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一种氮化铬氮化钛铝锆铬多元双层硬质膜的制备方法

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发表于 2018-11-19 18:40:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
  一种氮化铬/氮化钛铝锆铬多元双层硬质膜的制备方法,制备方法是:1、沉积技术的 确定;2、靶材成分的选用;3、工件的选择与预处理工艺;4、预轰击工艺;5、沉积工艺;6、加热冷却工艺;7、工件旋转工艺;8、按照本发明的制备方 法,可以获得上述的氮化铬/氮化钛铝锆...
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发表于 2018-11-19 20:00:37 | 显示全部楼层
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发表于 2018-11-23 01:05:45 | 显示全部楼层
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